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導(dǎo)入案例 客戶之聲 <厚度篇>

案例 1: 玻璃的厚度測量

行業(yè)種類 半導(dǎo)體和液晶行業(yè)
用途名稱 玻璃的厚度測量
采用機型

使用A公司的激光移位計測量了玻璃的厚度。有時圖案面會產(chǎn)生追蹤誤差,難以改善檢查效率。
通過采用基恩士的激光移位計LK系列,可消除圖案面的追蹤誤差,并改善檢查效率。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備。
因玻璃面與圖案面的反射率之差導(dǎo)致圖案面的追蹤誤差。為了在各個面上呈現(xiàn)理想的反射光量,可通過激光移位計LK系列高速控制發(fā)射時間和發(fā)射功率,無限降低追蹤誤差的影響。

基恩士

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案例 2: 多層薄膜的膜厚測量

行業(yè)種類 電子和電機行業(yè)
用途名稱 多層薄膜的膜厚測量
采用機型

通過X線式的膜厚計測量了透明多層薄膜的膜厚。測量點較大,無法管理細微厚度的偏差。
通過采用基恩士的分光干涉式激光位移計,可測量細微的薄膜厚度,并活用于吐出流量、壓力及傳輸速度的理想控制。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備
分光干涉式激光位移計SI系列可通過30 μm的小光點來測量厚度,因此能準(zhǔn)確測量至邊緣部??捎糜跈z測纏繞不良和預(yù)防扎帶現(xiàn)象。

基恩士

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案例 3: 晶圓的厚度測量

行業(yè)種類 半導(dǎo)體和液晶行業(yè)
用途名稱 晶圓的厚度測量
采用機型

通過接觸式測量儀管理了晶圓的厚度。存在測量時切開晶圓導(dǎo)致劃傷的課題,因此研究使用非接觸測量儀。
通過采用基恩士的分光干涉式激光位移計SI-R系列,無需擔(dān)心劃傷晶圓。頭部較小,可安裝于裝置內(nèi),從而能始終監(jiān)視晶圓的厚度。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備。
分光干涉式激光位移計SI-R系列采用了可透過Si及GaAs、SiC、InP、a-Si等半導(dǎo)體的近紅外SLD。因此,即使貼有BG膠帶,仍可準(zhǔn)確測量晶圓的厚度。

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案例 4: 面條的厚度測量

行業(yè)種類 食品行業(yè)
用途名稱 面條的厚度測量
采用機型

使用千分尺抽檢了面條的厚度。由于面條柔軟,受到接觸壓力的影響,會存在因人而異的測量結(jié)果偏差。
通過采用基恩士的激光移位計LK系列,實現(xiàn)了在線管理厚度。當(dāng)然,由于為非接觸式測量,也可解決因人而異的偏差問題。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備。
面條的厚度測量是采用實績較多的一種用途。由于面條的制造工序處于面粉彌漫的環(huán)境,因此穩(wěn)定測量值非常重要。
激光移位計LK系列配備了能消除突發(fā)性值的中值濾波器,可不受面粉的影響進行穩(wěn)定測量。

基恩士

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案例 5: 橡膠薄板的厚度測量

行業(yè)種類 樹脂和橡膠行業(yè)
用途名稱 橡膠薄板的厚度測量
采用機型

使用A公司的激光移位計在線測量了橡膠薄板的厚度。
由于不支持產(chǎn)品公差的嚴(yán)格要求,因此嘗試了基恩士的激光移位計LK系列。也可通過LK系列解決因表面粗糙度影響所產(chǎn)生的測量值偏差。由于測試結(jié)果良好,因此決定購買。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備。
激光移位計LK系列擁有392 kHz超快采樣速度的特點。通過平均處理高速采樣所獲得的大量數(shù)據(jù),即使在線測量仍可穩(wěn)定測量厚度。

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案例 6: 馬達機芯的迭片厚度測量

行業(yè)種類 運輸和金屬行業(yè)
用途名稱 馬達機芯的迭片厚度測量
采用機型

馬達機芯迭片的性能隨迭片數(shù)量而異,因此要目視檢查安裝的迭片是否為規(guī)定數(shù)量。
使用基恩士的激光移位計LK系列能在線測量厚度,可自動進行抽檢。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備。
若要通過厚度測量判斷迭片數(shù)量是否在規(guī)定范圍內(nèi),則要求精確到微米級的測量精度。激光移位計LK系列采用了能大幅控制表面粗糙度影響的光學(xué)設(shè)計,并配備了專用部件,可在線高精度測量各種目標(biāo)物。

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案例 7: 玻璃面板的密封材料厚度測量

行業(yè)種類 運輸和金屬行業(yè)
用途名稱 玻璃面板的密封材料厚度測量
采用機型

使用相機檢查了玻璃面板的密封材料。雖然目前可以檢查涂層破損,但還需要檢查密封材料的傾斜,因此導(dǎo)入了基恩士的2D激光移位計LJ系列。將傳感頭固定在膠槍上,不僅可測量涂層破損,還可測量厚度、寬度及截面面積等。

客戶之聲

歡迎采用本設(shè)備。
2D激光移位計LK系列的特點是具備超快的采樣速度。即使在高速控制膠槍的情況下,仍可進行窄小間距的測量,因此能防止密封不良。

基恩士

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